半導體行業用壓力傳感器

半導體行業用壓力傳感器
ZT15系列

產品描述:

半導體行業專用,各種半導體設備的超純氣體壓力測量

產品特征

· 產品體積小
· UC超潔凈處理
· 精度高
· 帶零調及滿偏調節功能
· 產品可靠壽命長

規格參數


測量介質各種工業氣體、半導體氣體
電氣連接插頭式
連接口徑1/4VCR、1/4NPT   如需其他尺寸請聯系我們。
接液部材質接頭: SUS316L   
壓力范圍0~0.3→0~20MPa
-0.1~0.3→-0.1~2MPa
精 度 ± 1.0% 
電源24V DC  
輸出4-20mA    1-5V DC  
響應速度1ms以下
溫度范圍-20-70℃
防護等級室內用


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